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南京瑞利数智环保科技有限公司
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过程监测飞行时间质谱 PM-TOF
过程监测飞行时间质谱 PM-TOF
更新时间：2026-09-14
主要特点
• 快速灵敏的气体监测
• 结构紧凑，易于移动和安装
• 耐腐蚀性气体
• 可集成到更大系统中，包括软件API
应用广泛
• 半导体生产过程的实时监测和诊断
• 蚀刻工艺的筛查